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跟著科技的前進(jìn)和產(chǎn)品技能的不斷提升以及我國(guó)對(duì)外開放的深化，大批的外資企業(yè)在我國(guó)建立其制作基地，特別是近年來(lái)半導(dǎo)體職業(yè)的大舉進(jìn)入，其全新的出產(chǎn)工藝及出產(chǎn)過程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求，需求我們供給一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)體系，特別需求有低濕度的空調(diào)環(huán)境確保。

現(xiàn)在，空氣除濕主要有四種辦法，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕體系中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手法。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，作用仍是比較好，功用安穩(wěn)且能耗也比較低，現(xiàn)在應(yīng)用比較廣泛。但在出產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的當(dāng)?shù)?，選用冷卻除濕顯著是不經(jīng)濟(jì)的。選用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣露點(diǎn)影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅選用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，因?yàn)槠湓偕哪芰恳脖容^大，此種計(jì)劃也不是較經(jīng)濟(jì)的。因?yàn)檗D(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng)，將其優(yōu)化組合，各取所長(zhǎng)，互補(bǔ)所短，會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

2.濕度在半導(dǎo)體職業(yè)中的要求半導(dǎo)體的出產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，出產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持安穩(wěn)的環(huán)境，特別是關(guān)于出產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)厲的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境體系的要求，因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)厲要求，關(guān)于空調(diào)體系的裝備，則要求體系一起具有夏日除濕的功用和冬天加濕的功用。一般的，半導(dǎo)體出產(chǎn)職業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而關(guān)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常選用冷凍除濕+后加熱(再熱)辦法進(jìn)行處理，并取得了必定成果。但這種辦法卻存在著一個(gè)致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大糟蹋，特別是因?yàn)榘雽?dǎo)體職業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)體系、出產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及現(xiàn)在許多廠主要集中散布在華南和華東地區(qū)的特殊狀況，使得這個(gè)問題十分杰出。因而，在較新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)體系開始使用新風(fēng)經(jīng)過新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度然后經(jīng)往后空調(diào)機(jī)組處理的組合辦法，到達(dá)室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

3.工程實(shí)例一、設(shè)計(jì)條件及要求：a、室內(nèi)要求：T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b、潔凈等級(jí)：10K(10000級(jí));c、體積：S=2000m2;H=2.8m;d、工作人員：30名，車間無(wú)工藝濕負(fù)荷;e、新風(fēng)量：9500m3/h;f、送風(fēng)量：120000m3/h，正壓5~10PA;g、室外環(huán)境條件：T=35℃;RH=70%;d=25g/kg;

二、空調(diào)體系設(shè)計(jì)計(jì)劃及優(yōu)缺點(diǎn)：a、計(jì)劃A：新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU)，其空氣處理過程如下：新風(fēng)過濾經(jīng)表冷處理后與房間回風(fēng)混合，再經(jīng)表冷器處理到機(jī)器露點(diǎn)(TL=12℃)后再加熱至送風(fēng)溫度(T=18.5℃)后，統(tǒng)一送風(fēng)到車間。剖析如下：因?yàn)檐囬g內(nèi)部的露點(diǎn)溫度為11.5℃，并且設(shè)計(jì)條件中車間內(nèi)無(wú)其他工藝濕負(fù)荷。根據(jù)這種條件，我們假定車間內(nèi)部沒有任何產(chǎn)濕量，則需求送風(fēng)露點(diǎn)和車間相同為11.5℃，這時(shí)關(guān)于新風(fēng)和回風(fēng)到達(dá)11.5℃露點(diǎn)所需求的冷量為：新風(fēng)冷負(fù)荷：9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新風(fēng)預(yù)冷至18℃，95%)回風(fēng)冷負(fù)荷：120000*1.2*(44-33)/3600=440Kw總計(jì)：162+440=602Kw;而在處理空氣露點(diǎn)溫度到達(dá)車間露點(diǎn)溫度后，需求進(jìn)行加熱補(bǔ)償，以確保送風(fēng)溫度的要求，這時(shí)所需求的再熱量為：再熱負(fù)荷：120000*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw總能耗為：冷：602Kw.熱：272Kw.從上述剖析和核算可得出，能耗抵消為：272Kw但實(shí)際上，車間內(nèi)部因?yàn)槿藛T的工作，保護(hù)結(jié)構(gòu)的表里的水蒸汽分壓力差以及車間門的敞開等要素，車間內(nèi)不可避免的存在濕負(fù)荷，這要求送風(fēng)露點(diǎn)溫度應(yīng)略低于車間內(nèi)部露點(diǎn)溫度，這會(huì)導(dǎo)致更大的冷熱能耗抵消。

一般的，因?yàn)樾嘛L(fēng)的焓值十分高，無(wú)法經(jīng)過新風(fēng)表冷器直接將新風(fēng)冷卻到11℃露點(diǎn)溫度。所以經(jīng)常選用新風(fēng)和回風(fēng)混合后，再表冷器處理的辦法進(jìn)行操作。一起，這種空調(diào)體系不僅要求在夏日可以一起滿意制冷(控溫文除濕)和供熱(滿意濕度要求)功用;并要求在某些過渡季節(jié)甚至冬天相同需求敞開制冷機(jī)組，意圖僅僅是除濕(對(duì)新風(fēng)進(jìn)行降溫除濕)。然后再經(jīng)往后加熱補(bǔ)償?shù)霓k法，重新操控室內(nèi)的溫度要求，糟蹋了大量的能源更為嚴(yán)重的是，在某些狀況下，后加熱的裝備量往往偏低，特別是后加熱器選用電加熱時(shí)，這種狀況更為常見。這時(shí)的空氣因無(wú)法得到足夠高的送風(fēng)溫度而導(dǎo)致車間內(nèi)部的相對(duì)濕度偏高，這種狀況下，要求制冷機(jī)組需求將送風(fēng)露點(diǎn)(溫度)進(jìn)一步下降，而在送風(fēng)露點(diǎn)下降時(shí)，溫度隨之下降然后導(dǎo)致車間內(nèi)部的濕度無(wú)法得到嚴(yán)厲確保。關(guān)于制冷機(jī)組，需求將空氣處理到11℃露點(diǎn)溫度，因而要求冷水溫度一般為5～10℃。但在這種工況下，制冷機(jī)組的功率也往往會(huì)有所衰減，然后需求裝備較大容量的制冷設(shè)備，引起先出資的增加。

b.計(jì)劃B：新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組(Dehumidifier)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU)，其空氣處理過程如下：新風(fēng)過濾，經(jīng)過新風(fēng)表冷器，一般處理到18℃露點(diǎn)，之后經(jīng)過轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行等焓除濕(空氣露點(diǎn)為4℃，d=5.2g/kg，T=42℃);除濕后的干熱空氣再和回風(fēng)混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg)，經(jīng)往后表冷器進(jìn)行干工況降溫處理到送風(fēng)溫度(18.5℃)，送風(fēng)到車間。能耗為：新風(fēng)表冷冷負(fù)荷：9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw除濕機(jī)能耗：125Kw后空調(diào)冷負(fù)荷：120000*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw總能耗為：冷：363Kw.熱：125Kw.c.計(jì)劃比較：傳統(tǒng)冷凍除濕+后加熱體系轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)體系新風(fēng)表冷能耗162Kw162Kw后表冷器能耗440Kw201Kw電加熱能耗272Kw125Kw總能耗(折算為電能)：383.8Kw193Kw由上述剖析和核算可得出，使用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)體系和傳統(tǒng)的冷凍除濕機(jī)+后加熱器辦法，能耗節(jié)約為45%左右。一起，因?yàn)檗D(zhuǎn)輪除濕機(jī)可以將新風(fēng)進(jìn)一步除濕干燥，以抵消車間的其他室內(nèi)濕負(fù)荷，尤其是在體系初期調(diào)試及房間發(fā)熱量不足(即出產(chǎn)開工不足)期間，這種體系運(yùn)行愈加可*，安全性更好，完全可以滿意半導(dǎo)體潔凈車間全天候的出產(chǎn)要求。

4.轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)體系的特性轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)體系，便是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)體系與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合，使用制冷體系的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而使用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在必定的范圍內(nèi)除濕作用好，且功用安穩(wěn)，但當(dāng)濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的能力顯著下降，此刻選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕體系，可以到達(dá)很好的作用。冷卻除濕作為前期除濕，杰出了冷卻除濕機(jī)高露點(diǎn)工況下能耗低的特點(diǎn)，使用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕，杰出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下，不受露點(diǎn)約束且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此體系常用的處理流程如下：1：冷卻除濕;2：轉(zhuǎn)輪除濕;3：等濕冷卻;5：再生加熱;6：絕熱再生5.結(jié)論在低濕環(huán)境條件下，選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)體系具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的優(yōu)越性。