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轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室中的應(yīng)用淺析

隨著科技的進(jìn)步和產(chǎn)品技能的不斷提升以及我國(guó)對(duì)外開放的深化,大批的外資企業(yè)在我國(guó)設(shè)立其制作基地,特別是近年來(lái)半導(dǎo)體職業(yè)的大舉進(jìn)入,其全新的出產(chǎn)工藝及出產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求,需求咱們提供一個(gè)比較有用且比較低能耗的空調(diào)體系,特別需求有低濕度的空調(diào)環(huán)境確保。

現(xiàn)在,空氣除濕首要有四種方法,通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕體系中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是首要手法。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60~65%)的條件下,效果還是比較好,性能安穩(wěn)且能耗也比較低,現(xiàn)在使用比較廣泛。但在出產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的當(dāng)?shù)?,選用冷卻除濕顯著是不經(jīng)濟(jì)的。選用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī),將不受空氣露點(diǎn)影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果悉數(shù)除濕僅選用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行,因?yàn)槠湓偕哪芰恳脖容^大,此種計(jì)劃也不是較經(jīng)濟(jì)的。因?yàn)檗D(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng),將其優(yōu)化組合,各取所長(zhǎng),互補(bǔ)所短,會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

半導(dǎo)體的出產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,出產(chǎn)車間內(nèi)部要求保持安穩(wěn)的環(huán)境,特別是關(guān)于出產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)厲的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境體系的要求,因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)厲要求,關(guān)于空調(diào)體系的裝備,則要求體系一起具有夏日除濕的功用和冬天加濕的功用。

一般的,半導(dǎo)體出產(chǎn)職業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2°C,RH=45±5%;而關(guān)于這個(gè)溫濕度要求,傳統(tǒng)上常常選用冷凍除濕+后加熱(再熱)方法進(jìn)行處理,并取得了必定效果。但這種方法卻存在著一個(gè)喪命問(wèn)題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi),特別是因?yàn)榘雽?dǎo)體職業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)體系、出產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及現(xiàn)在許多廠首要會(huì)集分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個(gè)問(wèn)題非常突出。

因而,在*的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)體系開始使用新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后經(jīng)過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方法,到達(dá)室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了明顯收益。

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